អនុវត្តចំពោះឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាសម្ពាធផ្លូវដែកទូទៅ Passat 06E906051K

1. វិធីសាស្រ្តបង្កើតឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាសម្ពាធ រួមមានៈ

ការផ្តល់ស្រទាប់ខាងក្រោម semiconductor ដែលក្នុងនោះស្រទាប់ dielectric interlayer ទីមួយ ស្រទាប់ dielectric interlayer ទីមួយ និងស្រទាប់ dielectric interlayer ទីពីរត្រូវបានបង្កើតឡើងនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម semiconductor ។

បន្ទះអេឡិចត្រូតទាបនៅក្នុងស្រទាប់ឌីអេឡិចត្រិច interlayer ដំបូងដែលជាអេឡិចត្រូតទៅវិញទៅមកដំបូងដែលមានទីតាំងនៅលើស្រទាប់ដូចគ្នាជាមួយនឹងបន្ទះអេឡិចត្រូតទាប ហើយគម្លាតដាច់ពីគ្នា។

ស្រទាប់តភ្ជាប់;

បង្កើតស្រទាប់បូជានៅពីលើចានរាងប៉ូលទាប;

ការបង្កើតបន្ទះអេឡិចត្រូតខាងលើនៅលើស្រទាប់ dielectric interlayer ទីមួយស្រទាប់អន្តរទំនាក់ទំនងដំបូងនិងស្រទាប់បូជា;

បនា្ទាប់ពីបង្កើតស្រទាប់យញ្ញបូជាហើយមុននឹងបង្កើតចានខាងលើក្នុងស្រទាប់អន្តរទំនាក់ទំនងដំបូង

បង្កើតជាចង្អូរតភ្ជាប់ និងបំពេញចង្អូរតភ្ជាប់ជាមួយចានខាងលើ ដើម្បីភ្ជាប់អេឡិចត្រូនិចជាមួយស្រទាប់អន្តរទំនាក់ទំនងដំបូង។ឬ

បន្ទាប់ពីបង្កើតបន្ទះអេឡិចត្រូតខាងលើ ចង្អូរតភ្ជាប់ត្រូវបានបង្កើតឡើងនៅក្នុងបន្ទះអេឡិចត្រូតខាងលើ និងស្រទាប់ទំនាក់ទំនងដំបូងដែល

បង្កើតស្រទាប់ចំហាយតភ្ជាប់បន្ទះអេឡិចត្រូតខាងលើនិងស្រទាប់អន្តរទំនាក់ទំនងដំបូងនៅក្នុងចង្អូរតភ្ជាប់;

បនា្ទាប់ពីតភា្ជាប់ផ្ន្រកផ្រស្រងខាងក្រ្រមនិងស្រទាប់ប្រស្រ័យទាក់ទងគ្នាដំបូងគេយកស្រទាប់បូជាចេញដើម្បីបង្កើតជាបែហោងធ្មែញ។

2. វិធីសាស្រ្តសម្រាប់បង្កើតឧបករណ៏សម្ពាធយោងតាមការអះអាង 1, ម្ល៉ោះនៅក្នុងស្រទាប់ទីមួយ

វិធីសាស្រ្តសម្រាប់បង្កើតស្រទាប់បូជានៅលើស្រទាប់ dielectric interlayer មានជំហានដូចខាងក្រោមៈ

ការដាក់ស្រទាប់សម្ភារៈបូជានៅលើស្រទាប់ dielectric interlayer ដំបូង;

លំនាំស្រទាប់សម្ភារៈបូជា ដើម្បីបង្កើតជាស្រទាប់បូជា។

3. វិធីសាស្រ្តសម្រាប់បង្កើតឧបករណ៏សម្ពាធនេះបើយោងតាមការអះអាង 2, ម្ល៉ោះ photolithography និង engraving ត្រូវបានប្រើ។

ស្រទាប់សម្ភារៈបូជាត្រូវបានលំនាំដោយដំណើរការ etching ។

4. វិធីសាស្រ្តសម្រាប់ការបង្កើតឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាសម្ពាធនេះបើយោងតាមការអះអាង 3, ម្ល៉ោះស្រទាប់បូជា

សម្ភារៈគឺកាបូនអាម៉ូញាក់ឬ germanium ។

5. វិធីសាស្រ្តនៃការបង្កើតឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាសម្ពាធនេះបើយោងតាមការអះអាង 4, ម្ល៉ោះស្រទាប់បូជា

សម្ភារៈគឺកាបូន amorphous;

Etching gases ដែលប្រើក្នុងដំណើរការនៃការ etching ស្រទាប់សម្ភារៈបូជារួមមាន O2, CO, N2 និង Ar;

ប៉ារ៉ាម៉ែត្រនៅក្នុងដំណើរការនៃការ etching ស្រទាប់សម្ភារៈបូជាគឺ: ជួរលំហូរនៃ O2 គឺ 18 SCCM ~ 22 SCCM និងអត្រាលំហូរនៃ CO គឺ 10% ។

អត្រាលំហូរមានចាប់ពី 90 SCCM ដល់ 110 SCCM អត្រាលំហូរ N2 មានចាប់ពី 90 SCCM ដល់ 110 SCCM និងអត្រាលំហូរ Ar ។

ជួរគឺ 90 SCCM ~ 110 SCCM ជួរសម្ពាធគឺ 90 mtor ~ 110 mtor ហើយថាមពលលំអៀងគឺ

540w ~ 660w ។