អាចប្រើបានចំពោះឧបករណ៏សម្ពាធផ្លូវដែកទូទៅនៃប្រេងឥន្ធនៈ 06e906051k

1 ។ វិធីសាស្រ្តសម្រាប់បង្កើតឧបករណ៏សម្ពាធរួមមាន:

ការផ្តល់ស្រទាប់ខាងក្រោមរបស់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកដែលមានរាងពងក្រពើដំបូងបង្អស់ស្រទាប់ Dielectric ដែលជាស្រទាប់ Dielectric ដំបូងបង្អស់និងស្រទាប់ Deilectryer Intercrealer ទីពីរត្រូវបានបង្កើតឡើងនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមរបស់អេឡិចត្រូនិច។

ស្លាកអេឡិចត្រូនិចទាបក្នុងស្រទាប់អេឡិចត្រូនិច Internric ដំបូងបង្អស់ប្រព័ន្ធអេឡិចត្រូនិកទៅវិញទៅមកដែលមានទីតាំងនៅលើស្រទាប់ដូចគ្នានឹងចានអេឡិចត្រូតខាងក្រោមនិងគម្លាតដាច់ពីគ្នា។

ភ្ជាប់ស្រទាប់;

បង្កើតស្រទាប់បូជាខាងលើចានរាងប៉ូលខាងក្រោម;

ការបង្កើតចានអេឡិចត្រូតខាងលើនៅលើស្រទាប់ឌីលីវើរអ៊ិនធឺរណែតដំបូងដែលជាស្រទាប់ភ្ជាប់ដំបូងនិងស្រទាប់ធូរស្បើយ។

បន្ទាប់ពីបានបង្កើតស្រទាប់ធាភាញីហើយមុនពេលបង្កើតចានខាងលើនៅក្នុងស្រទាប់ភ្ជាប់គ្នាដំបូង

ការបង្កើតចង្អូរការតភ្ជាប់ហើយបំពេញចង្អូរការតភ្ជាប់ជាមួយចានខាងលើដើម្បីភ្ជាប់អេឡិចត្រូនិចជាមួយស្រទាប់ភ្ជាប់គ្នាដំបូង; ឬ

បន្ទាប់ពីបានបង្កើតចានអេឡិចត្រូតខាងលើភ្ជាប់ចង្អូរត្រូវបានបង្កើតឡើងក្នុងចានអេឡិចត្រូតខាងលើនិងស្រទាប់ភ្ជាប់គ្នាដំបូងដែល

ការបង្កើតស្រទាប់នៃការភ្ជាប់ចានអេឡិចត្រូតខាងលើនិងស្រទាប់ភ្ជាប់គ្នាដំបូងនៅក្នុងចង្អូរការតភ្ជាប់;

បន្ទាប់ពីភ្ជាប់អេឡិចត្រូនិចខាងលើនិងស្រទាប់ភ្ជាប់គ្នាដំបូងយកស្រទាប់ដែលបានបូជាដើម្បីបង្កើតជាបែហោងធ្មែញ។

2 ។ វិធីសាស្រ្តក្នុងការបង្កើតឧបករណ៏សម្ពាធយោងទៅតាមការទាមទារសំណងទី 1 នៅស្រទាប់ទីមួយ

វិធីសាស្រ្តក្នុងការបង្កើតស្រទាប់ថ្វាយយញ្ញបូជានៅលើស្រទាប់ Interler Dielectric មានជំហានដូចខាងក្រោមៈ

ការដាក់ស្រទាប់សម្ភារៈដែលបានលះបង់នៅលើស្រទាប់ Devectric ដំបូង;

បន្ទះស្រទាប់សម្ភារៈដែលបានលះបង់ដើម្បីបង្កើតស្រទាប់ថ្វាយយញ្ញបូជា។

3 ។ វិធីសាស្រ្តក្នុងការបង្កើតឧបករណ៏សម្ពាធយោងតាមការទាមទារ 2, ដែលជារូបថតថតចម្លងនិងឆ្លាក់ត្រូវបានប្រើ។

ស្រទាប់សម្ភារៈដែលបានលះបង់ត្រូវបានកំណត់គំរូដោយដំណើរការអេតចាយ។

4 ។ វិធីសាស្រ្តក្នុងការបង្កើតឧបករណ៏សម្ពាធយោងទៅតាមការទាមទារលេខ 3 ដែលជាស្រទាប់ថ្វាយយញ្ញបូជា

សម្ភារៈគឺកាបូន amorphous ambonhous ឬអាល្លឺម៉ង់។

5 ។ វិធីសាស្រ្តក្នុងការបង្កើតឧបករណ៏សម្ពាធយោងទៅតាមការទាមទារ 4, ដែលស្រទាប់ថ្វាយយញ្ញបូជា

សម្ភារៈគឺកាបូន amorphous;

etching ឧស្ម័នដែលបានប្រើនៅក្នុងដំណើរការនៃការធ្វើឱ្យស្រទាប់សម្ភារៈសក្ដិសមរួមមាន O2, CO, N2 និង AR;

ប៉ារ៉ាម៉ែត្រនៅក្នុងដំណើរការនៃការធ្វើឱ្យស្រទាប់បូជាគ្រឿងបូជាគឺ: ជួរលំហូរនៃ O2 គឺ 18 Sccm ~ 22 SCCM ហើយអត្រាលំហូរនៃ CO គឺ 10% ។

អត្រាលំហូរមានចាប់ពី 90 ស៊ី។ អឹម។ អេស។ អេ។

ជួរគឺ 90 SCCM ~ 110 SCCM, ជួរសម្ពាធគឺ 90 Mtor ~ 110 Mtor, និងថាមពលមានភាពលំអៀងគឺ

540W ~ 660W ។