ឧបករណ៏សម្ពាធម៉ាស៊ីន 2CP3-68 1946725 សម្រាប់ Excavator Carter

វិធីសាស្រ្តសម្រាប់រៀបចំឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាសម្ពាធ ដែលកំណត់លក្ខណៈដោយរួមមានជំហានដូចខាងក្រោមៈ

S1 ផ្តល់នូវ wafer ជាមួយនឹងផ្ទៃខាងក្រោយនិងផ្ទៃខាងមុខ; បង្កើតបន្ទះ piezoresistive និងតំបន់ទំនាក់ទំនង doped យ៉ាងខ្លាំងនៅលើផ្ទៃខាងមុខនៃ wafer; បង្កើតរន្ធជ្រៅសម្ពាធដោយ etching ផ្ទៃខាងក្រោយនៃ wafer នេះ;

S2, ភ្ជាប់សន្លឹកគាំទ្រមួយនៅខាងក្រោយនៃ wafer;

S3 ការផលិតរន្ធនាំមុខ និងខ្សែដែកនៅផ្នែកខាងមុខនៃ wafer និងការតភ្ជាប់បន្ទះ piezoresistive ដើម្បីបង្កើតជាស្ពាន Wheatstone;

S4 ការដាក់និងបង្កើតស្រទាប់ passivation លើផ្ទៃខាងមុខនៃ wafer និងការបើកផ្នែកនៃស្រទាប់ passivation ដើម្បីបង្កើតជាផ្ទៃបន្ទះដែក។ 2. វិធីសាស្រ្តនៃការផលិតឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាសម្ពាធនេះបើយោងតាមការអះអាង 1, ម្ល៉ោះ S1 ជាពិសេសរួមមានជំហានដូចខាងក្រោម: S11: ការផ្តល់ wafer ជាមួយនឹងផ្ទៃខាងក្រោយនិងផ្ទៃខាងមុខមួយ, និងការកំណត់កម្រាស់នៃខ្សែភាពយន្តប្រកាន់អក្សរតូចធំនៅលើ wafer; S12: ការផ្សាំអ៊ីយ៉ុងត្រូវបានប្រើនៅលើផ្ទៃខាងមុខនៃ wafer បន្ទះ piezoresistive ត្រូវបានផលិតដោយដំណើរការសាយភាយដែលមានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ហើយតំបន់ទំនាក់ទំនងត្រូវបាន doped យ៉ាងខ្លាំង។ S13: ការដាក់និងបង្កើតស្រទាប់ការពារនៅលើផ្ទៃខាងមុខនៃ wafer; S14: ឆ្លាក់ និងបង្កើតជាប្រហោងជ្រៅដែលមានសម្ពាធនៅផ្នែកខាងក្រោយនៃ wafer ដើម្បីបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តដែលមានសម្ពាធ។ 3. វិធីសាស្រ្តផលិតនៃឧបករណ៏សម្ពាធនេះបើយោងតាមការអះអាង 1, ម្ល៉ោះ wafer គឺ SOI ។

នៅឆ្នាំ 1962 Tufte et al ។ ផលិតឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាសម្ពាធ piezoresistive ជាមួយនឹងបន្ទះ piezoresistive silicon diffused និងរចនាសម្ព័ន្ធខ្សែភាពយន្ត silicon ជាលើកដំបូងហើយបានចាប់ផ្តើមការស្រាវជ្រាវលើឧបករណ៏សម្ពាធ piezoresistive ។ នៅចុងទសវត្សរ៍ឆ្នាំ 1960 និងដើមទសវត្សរ៍ឆ្នាំ 1970 ការលេចចេញនូវបច្ចេកវិទ្យាបីគឺ បច្ចេកវិទ្យាស៊ីលីកុន anisotropic etching technology, ion implantation technology និង anodic bonding technology បាននាំមកនូវការផ្លាស់ប្តូរដ៏អស្ចារ្យចំពោះឧបករណ៏សម្ពាធ ដែលដើរតួយ៉ាងសំខាន់ក្នុងការធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវដំណើរការនៃឧបករណ៏សម្ពាធ។ . ចាប់តាំងពីឆ្នាំ 1980 ជាមួយនឹងការអភិវឌ្ឍន៍បន្ថែមទៀតនៃបច្ចេកវិទ្យា micromachining ដូចជា anisotropic etching, lithography, diffusion doping, ion implantation, bond and coating, size of pressure sensor ត្រូវបានកាត់បន្ថយជាបន្តបន្ទាប់ ភាពប្រែប្រួលត្រូវបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើង ហើយទិន្នផលគឺខ្ពស់ និង ការសម្តែងគឺល្អឥតខ្ចោះ។ ក្នុងពេលជាមួយគ្នានេះ ការអភិវឌ្ឍន៍ និងការអនុវត្តបច្ចេកវិជ្ជា micromachining ថ្មីធ្វើឱ្យកម្រាស់ខ្សែភាពយន្តរបស់ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាសម្ពាធត្រូវបានគ្រប់គ្រងយ៉ាងត្រឹមត្រូវ។